在直線度測量維度，設(shè)備具備強(qiáng)大性能。其測量距離可達(dá) 40m ，能覆蓋較長距離的直線檢測需求。測量范圍設(shè)定為 ±5mm ，可精準(zhǔn)捕捉直線度偏差。系統(tǒng)精度達(dá) ±(1μm + 1% A) ，這里的 A 代表最大顯示值（μm），如此高精度，保障直線度測量結(jié)果可靠，為生產(chǎn)加工中直線度把控提供有力數(shù)據(jù)支撐，像精密導(dǎo)軌、長軸類工件直線度檢測，都能借助該參數(shù)精準(zhǔn)評判 。

平行度測量方面，測量范圍同樣為 ±5mm 。測量精度因是否使用棱鏡有不同表現(xiàn)：使用棱鏡時(shí)，夾角測量精度是 ±(4 + 2/M + 0.01A/M)μm/m ，點(diǎn)間距測量精度為 ±(2 + 4M + 0.01A)μm ；不使用棱鏡時(shí)，夾角測量精度為 ±(2/M + 0.01A/M)μm/m ，點(diǎn)間距測量精度是 ±(1 + 0.01A)μm 。其中 A 為最大顯示值（μm），M 是基準(zhǔn)面或基準(zhǔn)軸長度（m） ，適配不同場景下平行度檢測，比如機(jī)械裝配中平行導(dǎo)軌、平行平面的精度校驗(yàn)。

垂直度測量，測量范圍為 ±5mm ，測量精度達(dá) ±(4 + 2/M + 0.01A/M)μm/m ，A 為最大顯示值（μm），M 為基準(zhǔn)面或基準(zhǔn)軸長度（m） ，可用于檢測設(shè)備安裝、工件加工中垂直面、垂直軸的垂直度，確保空間垂直關(guān)系精準(zhǔn)。

平面度測量精度為 ±(2 + 0.02A)μm ，A 為最大顯示值（μm） ，能對各類平面，如機(jī)床工作臺面、光學(xué)鏡片表面等的平面度進(jìn)行高精度檢測，助力把控平面加工質(zhì)量 。